一种LED手表衬底晶片

摘要

本发明涉及一种LED手表衬底晶片，用硝酸和硫酸按1:2的浓度配置成王水水浴并加热至沸腾，将LED手表衬底晶片煮沸，去离子水清洗，氮气吹干；L乙醇加热，超声清涤，异丙醇中加热，超声清涤，去离子水清洗，氮气吹干；烘烤，然后取出样片，降至室温后再进行匀胶，放入到热板上进行前烘；采用双层胶工艺技术进行光刻，再用电子束蒸发加厚电极，用丙酮溶液在烧杯中浸泡,并用超声清洗，最后用去离子水冲洗干净。

主权项

一种LED手表衬底晶片，其特征在于：用硝酸和硫酸按1:2的浓度配置成王水水浴并加热至沸腾，将LED手表衬底晶片煮沸7‑8min，用100mL的去离子水清洗6‑7次，接着再用氮气吹干；用20mL乙醇加热至50‑60℃，并在超声中清洗10‑15min，然后用20mL的异丙醇中加热至50‑60℃，并在超声中清洗10‑15min，最后再用50mL的去离子水清洗，氮气吹干；将烘干后的LED手表衬底晶片于120℃下在烘箱中烘烤30‑50min，然后取出样片，降至室温后再进行匀胶，以3000r/min的速度匀胶45秒，放入到100℃的热板上进行前烘；采用双层胶工艺技术进行光刻，再用电子束蒸发加厚电极，用丙酮溶液在烧杯中浸泡20‑30min,并用超声清洗30min，最后用去离子水清洗。