| 发明名称 | 用于制造严密密封的腔的设备和方法 | ||
| 摘要 | 在不同的实施方式中提供一种设备，所述设备具有：第一载体(102)，所述第一载体用至少一种ALD前驱体(302)和/或至少一种MLD前驱体(302)；第二载体(104)，所述第二载体用与所述第一载体(102)的至少一种ALD前驱体(302)和/或MLD前驱体(302)互补的至少一种ALD前驱体(304)和/或至少一种MLD前驱体(304)占据，其中第一载体(102)与第二载体(104)至少部分地借助于第一载体(102)的ALD前驱体(302)和第二载体(104)的ALD前驱体(304)之间的或者第一载体(102)的MLD前驱体(302)或者第二载体(104)的MLD前驱体(304)之间的原子键合部(118)来连接，使得形成ALD层(118)或者MLD层(118)。 | ||
| 申请公布号 | CN104641485A | 申请公布日期 | 2015.05.20 |
| 申请号 | CN201380043579.3 | 申请日期 | 2013.07.18 |
| 申请人 | 欧司朗OLED股份有限公司 | 发明人 | 埃尔温·兰;蒂洛·罗伊施;菲利普·施万布 |
| 分类号 | H01L51/52(2006.01)I;B81C3/00(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;H01L51/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L51/52(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 丁永凡;李德山 |
| 主权项 | 一种设备，具有：●第一载体(102)，所述第一载体用至少一种ALD前驱体(302)和/或至少一种MLD前驱体(302)占据；●第二载体(104)，所述第二载体用与所述第一载体(102)的至少一种ALD前驱体(302)和/或MLD前驱体(302)互补的至少一种ALD前驱体(304)和/或至少一种MLD前驱体(304)占据，●其中所述第一载体(102)与所述第二载体(104)至少部分地借助于所述第一载体(102)的ALD前驱体(302)和所述第二载体(104)的ALD前驱体(304)之间的或者所述第一载体(102)的MLD前驱体(302)和所述第二载体(104)的MLD前驱体(304)之间的原子键合部(118)来连接，使得形成ALD层(118)或者MLD层(118)。 | ||
| 地址 | 德国雷根斯堡 | ||