一种多模干涉光学集成型加速度计

摘要

本发明公开了一种多模干涉光学集成型加速度计，包括ASE宽带光源、环形器、光纤链路、待测模块、传感器件模块和光谱仪；从ASE宽带光源发出的光信号经过环形器进入光纤链路，通过光纤链路进入传感器件模块；在传感器件模块从中，输入的光场通过前单模光纤进入多模光纤中，当悬梁臂形变时，光信号波长发生漂移，漂移后的光信号经过后单模光纤末端附着的铝薄膜反射再次进入光纤链路，通过环形器的作用输出到光谱仪中进行计算。本发明器件结构简单；灵敏度高，对于标准光纤有Pe＝0.22，ν＝0.17，基于此种材料制作的FBG传感器，它的轴向灵敏度系数为1-Pe＝0.78，而本文提出的加速度计的灵敏度系数为1.56，在数值上是FBG传感器灵敏度的2倍；便于集成，拓展了器件的应用领域。

主权项

一种多模干涉光学集成型加速度计，其特征在于，包括ASE宽带光源(1)、环形器(2)、光纤链路(3)、待测模块(5)、传感器件模块和光谱仪(8)；ASE宽带光源(1)输出连接环形器(2)，环形器(2)输出连接光纤链路(3)和光谱仪(8)；光纤链路(3)连接传感器件模块；所述传感器件模块包括衬底(7)和附着在悬梁臂(4)上的MMI传感元件(6)，悬梁臂(4)一端固定在衬底(7)上，另一端连接待测模块(5)；所述MMI传感元件(6)由前单模光纤(9)、一个多模光纤(10)和后单模光纤(11)组成；所述多模光纤位于两个单模光纤之间；从ASE宽带光源发出的光信号经过环形器(2)进入光纤链路(3)，通过光纤链路(3)进入传感器件模块；在传感器件模块从中，输入的光场通过前单模光纤(9)进入多模光纤(10)中，当悬梁臂(4)形变时，光信号波长发生漂移，漂移后的光信号经过后单模光纤(11)末端铝薄膜的反射，再次进入光纤链路(3)，通过环形器(2)的作用输出到光谱仪(8)中进行计算。