| 摘要 |
처리 툴을 위한 기판 이송 장치가 제공된다. 상기 장치는 구동부, 가동 암, 및 엔드 이펙터를 포함한다. 상기 암은 상기 구동부에 동작가능하게 연결된다. 상기 엔드 이펙터는 상기 처리 툴 내의 상기 기판을 홀딩하고 이송하기 위해 상기 가동 암에 연결된다. 상기 장치는 상기 엔드 이펙터에 연결되는 기판 관성 캡처 에지 그립을 포함하고, 상기 기판 관성 캡처 에지 그립은 상기 기판 관성 캡처 에지 그립이 기판 관성을 이용하여 상기 엔드 이펙터 위로 상기 기판의 캡처 및 센터링을 달성하도록 배열된다. |
