摘要 |
【物品用途】;本设计的物品是半导体研磨碟洗净用刷子,为应用于研磨半导体之整修碟的垫片接触面之洗净的刷子;如参考图所示,利用固定螺栓等固定于突出设置用来喷出洗净流体之喷嘴的刷子支撑部之上面而安装在洗净装置;整修碟,是使垫片接触面接触刷子且保持旋转进行冲洗,此时,从喷嘴喷出的洗净流体,从各刷子间的间隙流下来,研磨浆粒和研磨渣与洗净流体一起通过喷嘴贯通之孔部的间隙流向下方,从露出刷子支撑部之侧方的横长形排出沟,排出外部。;【设计说明】;于各图中,表现在刷子部的复数个圆柱形,是整合多数根刷毛且予以简略的画法。;后视图与前视图相同,后视图省略;左侧视图与右侧视图相同,左侧视图省略。 |