一种离轴光学非球面镜顶点半径的测量方法和装置

摘要

本发明涉及一种离轴光学非球面镜顶点半径的非接触测量方法和装置，该测量方法包括以下步骤：利用离轴非球面镜上不同点法线与光轴交点不同的特性并结合光的反射镜定律和三角函数关系，求出离轴非球面镜上采用点的法线与光轴夹角、口径高度；根据非球面公式并求导，建立非球面几何参数与法线的数学模型；测量数据多点采样，并覆盖整个离轴非球面口径范围；根据数学模型，采用最小二乘方法进行数据处理和求解。本发明的离轴光学非球面镜顶点半径的测量方法和装置，能够解决离轴非球面镜顶点半径，包括二次系数、高次系数，无法测量或无法准确测量的技术难题。

主权项

一种离轴光学非球面镜顶点半径的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤i：利用离轴非球面镜上不同点法线与光轴交点不同的特性并结合光的反射镜定律和三角函数关系，求出离轴非球面镜上采用点的法线与光轴夹角、口径高度；根据非球面公式并求导，建立非球面几何参数与法线的数学模型；步骤ii：测量数据多点采样，并覆盖整个离轴非球面口径范围；根据数学模型，采用最小二乘方法进行数据处理和求解。