一种金属有机化学气相沉积反应系统

摘要

本发明涉及一种金属有机化学气相沉积反应系统，具体地讲是涉及一种紫外辅助金属有机化学气相沉积反应系统。它包括反应腔室、位于反应腔室内顶部的喷淋装置和位于反应腔室内底部的加热装置，还包括对称的设于反应腔室两侧腔壁上的石英窗以及与石英窗对应的固定于腔壁外部的紫外光源组件。本发明的系统结构简单且利于拆卸维护，能够均匀辐射，激发化学反应活性，降低反应温度，有利于防止玻璃在过高的温度下产生形变。

主权项

一种金属有机化学气相沉积反应系统，包括反应腔室、位于反应腔室内顶部的喷淋装置和位于反应腔室内底部的加热装置，其特征在于还包括对称的设于反应腔室两侧腔壁上的石英窗以及与石英窗对应的固定于腔壁外部的紫外光源组件。