Wiederherstellung von Oberflächeneigenschaften empfindlicher Dielektrika mit kleinemεin Mikrostrukturbauelementen unter Anwendung einer in-situ-Oberflächenmodifizierung

摘要

Strukturierungsbedingte Schädigungen empfindlicher dielektrischer Materialien mit kleinem &egr; in Halbleiterbauelementen werden zu einem gewissen Grade wieder aufgehoben auf der Grundlage einer Oberflächenbehandlung, die vor dem Einwirken der Umgebungsatmosphäre auf das Bauelement ausgeführt wird. Dazu werden die ungesättigten Siliziumbindungen des siliziumoxidbasierten dielektrischen Materials mit kleinem &egr; in einer abgeschlossenen Prozessumgebung gesättigt, wodurch bessere Prozessbedingungen für das nachfolgende Anwenden einer geeigneten Reparaturchemie geschaffen werden.