具有当层对准标记之光罩

摘要

一种具有当层对准标记之光罩，其具有四个边。这种光罩包括数个主图案、设置于主图案之间的内切割道图案、仅设置于光罩的三个边的外切割道图案、第一组当层对准标记以及第二组当层对准标记。于此光罩中，第一组当层对准标记是设置于具有外切割道图案的对边。而第二组当层对准标记是设置于只有一边有外切割道图案的对边，且分别位于内切割道图案与外切割道图案之相对位置，其中第二组当层对准标记中的每个对准标记包括与对边的延伸方向平行的数个平行图案以及设置于平行图案的至少一端的至少一个垂直图案。