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发明名称
摘要
申请公布号 JP2007533155(A) 申请公布日期 2007.11.15
申请号 JP20070508336 申请日期 2005.02.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;C23C16/458;C23C16/46;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/683;H01L21/687 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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