| 发明名称 |
Hochauflösende Rasterröntgenphotoelektronenspektroskopie |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69334021(T2) |
申请公布日期 |
2007.03.29 |
| 申请号 |
DE19936034021T |
申请日期 |
1993.08.25 |
| 申请人 |
REVERA INC. |
发明人 |
LARSON, PAUL E;PALMBERG, PAUL W. |
| 分类号 |
G01N23/227;G01Q30/02;G01Q30/06;G21K1/06;H01J37/06;H01J37/256;H01J37/285;H01J49/08;H01J49/44;H01J49/48 |
主分类号 |
G01N23/227 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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