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发明名称 A method of filling trenches
摘要
申请公布号 GB0219675(D0) 申请公布日期 2002.10.02
申请号 GB20020019675 申请日期 2002.01.21
申请人 TRIKON HOLDINGS LIMITED 发明人
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L21/762 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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