发明名称 ETCH/STRIP APPARATUS INTEGRAL WITH CLEANING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR20010111430(A) 申请公布日期 2001.12.19
申请号 KR20000031778 申请日期 2000.06.09
申请人 LG.PHILIPS LCD CO., LTD. 发明人 PARK, EUN SEOK
分类号 (IPC1-7):G02F1/136 主分类号 (IPC1-7):G02F1/136
代理机构 代理人
主权项
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