| 摘要 |
<p>Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur rasterförmigen Erfassung von Meßwerten sowie auf ein Rastermikroskop zur Durchführung des Verfahrens, das entsprechende Mittel aufweist. Eine Meßsonde wird rasterförmig bewegt und Werte werden an den Rasterpunkten gemessen. Beispielsweise werden Höheninformationen als Graustufe auf einem Bildschirm dargestellt. Verfahrensgemäß werden die Rasterpunkte in Form von Ortskoordinaten gemäß einer festgelegten Reihenfolge vor Beginn der rasterförmigen Bewegungen abgespeichert. Die rasterförmigen Bewegungen werden gemäß der Reihenfolge der gespeicherten Koordinaten ausgeführt. Vorteilhaft müssen nun die Bewegungen der Sonde nicht mehr während einer laufenden Messung berechnet werden. Es ist lediglich erforderlich, nach einer Erfassung eines Meßwertes die nächste Koordinate abzurufen und das Mittel zur Messung zu diesem Ort hinzubewegen. Auf diese Weise wird während der Messung Rechenzeit eingespart. Infolge der eingesparten Rechenzeit kann auf einen separaten Prozessor oder ein externes Steuergerät während der Messung verzichtet werden.</p> |
