发明名称 VACUUM DEPOSITION METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 RU2053312(C1) 申请公布日期 1996.01.27
申请号 RU19920003677 申请日期 1992.11.05
申请人 GOROKHOVSKIJ VLADIMIR ILICH 发明人 GOROKHOVSKIJ VLADIMIR I
分类号 C23C14/32;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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