Procédé et dispositif pour mesurer la quantité de charge s'écoulant dans le vide.

摘要

La présente invention concerne un procédé pour mesurer pour chaque unité de temps une quantité de charge électrique traversant une zone de volume sous vide dans un sens défini (x), selon lequel des particules transportant la charge sont captées à l'aide d'un dispositif capteur (10) relié à un circuit de mesure pour un courant galvanique, et le courant galvanique produit par le captage est mesuré dans le circuit (17). Dans le sens (x), le captage des particules est réalisé simultanément et en cascade. L'invention concerne aussi un dispositif de mesure comportant un dispositif capteur disposé dans le vide et relié à un circuit de mesure de courant galvanique. Le dispositif capteur comprend des capteurs (10a à 10c) disposés en cascade dans le sens (x) et procédant à une mesure simultanée. L'invention concerne enfin l'utilisation du procédé et du dispositif de mesure.