| 发明名称 |
FORMATION OF SUPER FINE PARTICLE FILM PATTERN |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0693418(A) |
申请公布日期 |
1994.04.05 |
| 申请号 |
JP19920269549 |
申请日期 |
1992.09.11 |
| 申请人 |
OMRON CORP |
发明人 |
SOTODANI TAKASHI;HIRANO MASAO |
| 分类号 |
C23C14/04;C23C14/24;H05K3/14;(IPC1-7):C23C14/04 |
主分类号 |
C23C14/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
