| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR COATING CHEMICAL MEDICINE ON SUBSTRATEIN PICKLING UNIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6129131(A) |
申请公布日期 |
1986.02.10 |
| 申请号 |
JP19850141461 |
申请日期 |
1985.06.27 |
| 申请人 |
IND CENTER REIKU HEIZERUTAIN DRIVE 322 |
发明人 |
DON SHII BAAKUMAN |
| 分类号 |
C23G3/00;B01F5/02;B05B7/08;C23F1/16;C23G1/00;C30B33/00;C30B33/10;H01L21/00;H01L21/306 |
主分类号 |
C23G3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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