发明名称 一种旋转定位装置
摘要 本实用新型涉及一种旋转定位装置,包括:底座,所述底座中设置有旋转电机,所述底座上方设置有固定板,所述固定板上方设置有球型连接轴,所述球型连接轴上方设置有平衡板一、平衡板二,所述平衡板二上方设置有安装座,所述安装座两端分别设置有自动锁紧机构,所述自动锁紧机构之间设置有限位环。本实用新型结构简单、制造成本低廉、性能稳定、操作简单,特别适用于半导体制造工艺中的精确定位与旋转。
申请公布号 CN205723484U 申请公布日期 2016.11.23
申请号 CN201620682101.6 申请日期 2016.07.01
申请人 重庆三零三科技有限公司 发明人 黄菊英
分类号 H01L21/68(2006.01)I 主分类号 H01L21/68(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种旋转定位装置,其特征在于,包括:底座,所述底座中设置有旋转电机,所述底座上方设置有固定板,所述固定板上方设置有球型连接轴,所述球型连接轴上方设置有平衡板一、平衡板二,所述平衡板二上方设置有安装座,所述安装座两端分别设置有自动锁紧机构,所述自动锁紧机构之间设置有限位环。
地址 402560 重庆市铜梁县巴街道办事处北环路川9号2幢4-1