发明名称 |
一种旋转定位装置 |
摘要 |
本实用新型涉及一种旋转定位装置,包括:底座,所述底座中设置有旋转电机,所述底座上方设置有固定板,所述固定板上方设置有球型连接轴,所述球型连接轴上方设置有平衡板一、平衡板二,所述平衡板二上方设置有安装座,所述安装座两端分别设置有自动锁紧机构,所述自动锁紧机构之间设置有限位环。本实用新型结构简单、制造成本低廉、性能稳定、操作简单,特别适用于半导体制造工艺中的精确定位与旋转。 |
申请公布号 |
CN205723484U |
申请公布日期 |
2016.11.23 |
申请号 |
CN201620682101.6 |
申请日期 |
2016.07.01 |
申请人 |
重庆三零三科技有限公司 |
发明人 |
黄菊英 |
分类号 |
H01L21/68(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/68(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种旋转定位装置,其特征在于,包括:底座,所述底座中设置有旋转电机,所述底座上方设置有固定板,所述固定板上方设置有球型连接轴,所述球型连接轴上方设置有平衡板一、平衡板二,所述平衡板二上方设置有安装座,所述安装座两端分别设置有自动锁紧机构,所述自动锁紧机构之间设置有限位环。 |
地址 |
402560 重庆市铜梁县巴街道办事处北环路川9号2幢4-1 |