| 摘要 |
【課題】非破壊的にルツボの形状を測定して品質検査を行うシリカガラスルツボの製造方法の提供。【解決手段】回転モールド法により形成したシリカガラスルツボ１１の内表面に沿って非接触で内部測距部１７を移動させ、内表面に対して斜め方向にレーザー光を照射し、レーザー光の反射光をレーザー変位計で測定して２つのピークが観測されるように内部測距部１７と内表面との距離やレーザー光の出射方向を変化させて、２つのピークのうちの内表面側のピークの位置によって内表面距離を測定し、外表面側のピークの位置によって界面距離を測定し、各測定点の三次元座標と、内表面距離及び界面距離を関連付けることによって内表面及び界面の三次元形状を求め、前記三次元形状に基づいてシリカガラスルツボ１１の品質検査を行い、品質検査で、三次元形状が規定の範囲外である場合には、シリカガラスルツボ１１の形状の修正を行う、シリカガラスルツボ１１の製造方法。【選択図】図１ |
