具有冷却之背板的ＰＥＣＶＤ处理室

摘要

本发明大致上是有关于一种用以在一玻璃基板上沉积非晶或微晶矽以制造太阳能伏特电池之电浆增强化学气相沉积腔室。腔室包括一背板，背板具有至少一流体接收导管以接收冷却流体而将腔室内由电浆产生的热移除，藉此稳定化且冷却该背板，以确保基板表面上之材料沉积的均匀性。