发明名称 |
PIEZO ACTUATOR AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF |
摘要 |
<p>Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktors, bei der auf den gesinterten Piezostapel (1) eine Metallisierungspaste aufgebracht wird, auf die wiederum eine flexible Metallelektrode (25) aufgesetzt wird. In einem anschließenden Brennvorgang bildet sich aus der Metallisierungspaste eine Grundmetallisierung (20), die fest mit dem Piezostapel (1) verbunden ist und die ebenfalls mit der flexiblen Metallelektrode (25) verbunden ist. Alternativ kann auch Metallisierungspaste auf den Grünkörper aufgebracht werden, der anschließend gesintert wird, so dass bereits beim Sintervorgang eine erste Schicht (120) einer Grundmetallisierung (20) gebildet wird. Auf diese erste Schicht (120) wird in analoger Weise Metallisierungspaste aufgebracht und darauf eine flexible Metallelektrode (25) aufgesetzt, die durch einen zweiten Brennvorgang fixiert wird.</p> |
申请公布号 |
WO2007118883(A1) |
申请公布日期 |
2007.10.25 |
申请号 |
WO2007EP53751 |
申请日期 |
2007.04.18 |
申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH;HOHMANN, EUGEN;HENNECK, STEFAN;FERGEN, IMMANUEL |
发明人 |
HOHMANN, EUGEN;HENNECK, STEFAN;FERGEN, IMMANUEL |
分类号 |
H01L41/047;H01L41/083;H01L41/273;H01L41/293 |
主分类号 |
H01L41/047 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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