在金刚石对顶砧上集成金属电极的方法

摘要

本发明属在高压实验装置——金刚石对顶砧上集成金属电极的方法。经清洗(1)、溅射电极材料(2)、涂胶(3)、光刻(4)、腐蚀金属(5)、去胶(6)以及引线工艺过程制得钨或铬或钛的金属电极。电极材料(2)厚度为1000～2500A，溅射电极材料过程中衬底温度保持在240～400℃。光刻(4)过程是保留需要集成电极部位的光刻胶(9)，而其余的地方光刻胶(9)被去掉。腐蚀金属(5)是指用光刻腐蚀剂去掉未被光刻胶(9)掩盖的电极材料。本发明能保证电极在砧面上有足够的附着力。电极厚度小，可消除由应力产生的电极崩裂现象。可避免高温对金刚石的损伤，延长使用寿命。

主权项

1、一种在金刚石对顶砧上集成金属电极的方法，包括清洗(1)、溅射电极材料(2)、涂胶(3)、光刻(4)、去胶(6)以及引线的工艺过程，其特征是，在对金刚石对顶砧砧面的清洁处理后先进行溅射电极材料(2)，再进行涂胶(3)、光刻(4)、腐蚀金属(5)、去胶(6)以及引线；所说的溅射电极材料(2)是在金刚石对顶砧上溅射厚度为1000～2500的钨或铬或钛的金属薄膜(8)，溅射过程中衬底温度保持在240～400℃；所说的光刻(4)过程是涂胶(3)后经曝光显影，保留需要集成电极部位的光刻胶(9)，而其余的地方光刻胶(9)被去掉；所说的腐蚀金属(5)是指用光刻腐蚀剂去掉未被光刻胶(9)掩盖的电极材料；所说的去胶(6)是去掉金属电极上面的起掩盖作用的光刻胶(9)，以露出金属电极；所说的引线是将金属丝粘结在金刚石对顶砧的侧面上。