旋转蚀刻机用的化学液回收的再生装置

摘要

一种旋转蚀刻机用的化学液回收的再生装置,主要是利用旋转所产生的离心力将化学药液甩出晶圆夹盘,而以化学药液回收环,区分不同的化学药液以进行回收。用于多种旋转蚀刻化学药液的回收,依需求分类并流入指定的管路中,进行后续的再生或排放,无需改变原有旋转蚀刻机的制程反应室的外观尺寸下,即可进行化学药液的回收。

主权项

1、一种旋转蚀刻机用的化学液回收的再生装置，其特征是：它包括固定及旋转晶圆的晶圆夹盘；化学药液回收环位于该晶圆夹盘的下方；控制该化学药液回收环向上或向下移动的伸缩管位移控制装置与该化学药液回收环连接；化学药液回收盘与该伸缩管位移控制装置相连接，具有回收第一化学药液及第二化学药液的两个环状凹槽及两个排出口。