| 发明名称 |
HEATER FOR VAPOR PHASE EPITAXY DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09289074(A) |
申请公布日期 |
1997.11.04 |
| 申请号 |
JP19960102873 |
申请日期 |
1996.04.24 |
| 申请人 |
NIPPON SANSO KK |
发明人 |
YAMAGUCHI AKIRA;AKUTSU NAKAO;YAMAZAKI TOSHIAKI |
| 分类号 |
H05B3/14;(IPC1-7):H05B3/14 |
主分类号 |
H05B3/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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