发明名称 MANUFACTURE OF PROBE USED FOR LOCAL OPTICAL MICROSCOPE, ETC.
摘要
申请公布号 JPH07218516(A) 申请公布日期 1995.08.18
申请号 JP19940068223 申请日期 1994.04.06
申请人 NIKON CORP 发明人 SHIBATA NORIO;SUZUKI KAZUO
分类号 G01B11/30;G01N37/00;G01Q60/22;G02B21/00;H01J37/29;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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