发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04181722(A) 申请公布日期 1992.06.29
申请号 JP19900310220 申请日期 1990.11.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAI KENYA
分类号 H01L21/205;H01L21/26 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址