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UN APLICADOR DE RECUBRIMIENTO PARA DEPOSITAR UNA PELICULA SOBRE UNA SUPERFICIE DE VIDRIO (12) Y OTROS SUSTRATOS MEDIANTE DEPOSITO DE VAPOR QUIMICO. EL APLICADOR INCLUYE UN PAR DE BOQUILLAS RECUBRIDORAS OPUESTAS (10A Y 10B) PARA APLICAR UN REACTIVO QUIMICO RECUBRIENTE VAPORIZADO EN UN GAS PORTADOR A LA SUPERFICIE. CADA BOQUILLA RECUBRIDORA (10A Y 10B) ESTA SITUADA ADYACENTE A LA SUPERFICIE (12) CON UNA PEQUEÑA SEPARACION (C) ENTRE AMBAS, ABIERTA A LA ATMOSFERA EXTERIOR. LAS BOQUILLAS RECUBRIDORAS OPUESTAS ESTAN DIRIGIDAS UNA HACIA LA OTRA EN ANGULO SELECCIONADO CON RESPECTO A UNA NORMAL A LA SUPERFICIE (12) DE LA BASE. EL PROCEDIMIENTO COMPRENDE LAS OPERACINES DE: A) MANTENER EL SUSTRATO A TEMPERATURA DE DEPOSITO; B) VAPORIZAR UN REACTIVO QUIMICO; C) APLICAR EL REACTIVO SOBRE EL SUSTRATO; D) DEPOSITAR LA PELICULA DE REACTIVO, Y E) RETIRAR EL MATERIAL A EVACUAR.
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