一种自解耦高灵敏度谐振硅微机械陀螺

摘要

一种自解耦高灵敏度谐振硅微机械陀螺主要包括：外质量块、内质量块、悬臂梁、杠杆放大机构、DETF(double－ended tuning fork)、驱动电极、检测电极几部分。结构为轴对称图形，内外质量块都显“回”字型。内质量块里是杠杆放大机构、音叉、驱动电极和检测电极。发明中的“回”字型设计能够使元件在有限体积下实现较大的质量块；内外质量用折叠梁隔开，有效降低了耦合；谐振梁采用DETF形式，并且两端通过细颈结构与外围连接，有效减小谐振梁和外围结构的能量耦合；以对称布置的两个音叉实现谐振频率的差动输出，有效减少了共模干扰。本发明的结构形式提高了加速度计的灵敏度、分辨率，并且运用框架结构减小了驱动方向振动对检测方向的耦合。

主权项

1、一种自解耦高灵敏度谐振硅微机械陀螺，其特征在于：主要包括：外质量块、内质量块、悬臂梁、两个对称的杠杆放大机构、两个对称的音叉DETF、驱动电极、检测电极；整个结构为轴对称图形的双质量块结构，内外质量块呈“回”字型，两者通过折叠梁对称连接，可实现结构解耦；外质量通过悬臂梁支撑；两个对称的杠杆放大机构、两个对称的音叉DETF、驱动电极和检测电极位于内质量块里，两个音叉的一端之间通过中间锚点连接，两个音叉的另一端通过杠杆放大机构与内质量块连接，且在每个音叉两侧有梳齿，构成驱动电极和检测电极。