发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER ELEKTRISCH LEITFAEHIGEN VERBINDUNG UND VORRICHTUNG ZUR DURCHFUEHRUNG EINES SOLCHEN VERFAHRENS.
摘要
申请公布号 DE3483982(D1) 申请公布日期 1991.02.28
申请号 DE19843483982 申请日期 1984.06.04
申请人 SIEMENS AG, 8000 MUENCHEN, DE 发明人 REHME, DR. DIPL.-PHYS., HANS, D-8011 ZORNEDING, DE
分类号 (IPC1-7):H01L21/90 主分类号 (IPC1-7):H01L21/90
代理机构 代理人
主权项
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