微型器件

摘要

谐振器4和5能够相对于基底1水平和垂直地振荡。谐振器4主要由固定地与基底1接触的支撑部件、包括与谐振器5接触的接触表面和与电极7接触的接触表面的可动部件、以及耦合支撑部件与可动部件的衔接部件构成。电极6置于谐振器5和谐振器4相间隔开的方向上。电极7置于谐振器4和谐振器5相间隔开的方向上。电极9被置于这样的位置，使谐振器5产生静电力，其方向与在谐振器4和5之间以及在谐振器5和电极6之间作用的吸引力的方向均不同。

主权项

1.一种微型器件，包括：多个精密结构的谐振器，所述的多个精密结构的谐振器通过由于静电产生的吸引而相互接触；多个第一电极，所述的多个第一电极由于静电而产生对所述的谐振器的吸引从而使所述的谐振器分离开；以及一第一施加部件，所述的第一施加部件将电压施加于所述的多个第一电极，其中当所述的谐振器彼此接触时信号通过所述的谐振器，而当所述的谐振器分离开时通过谐振器的所述的信号被断开。