| 发明名称 |
ELEKTRISCHE BAUGRUPPE UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT6359(U3) |
申请公布日期 |
2004.03.25 |
| 申请号 |
AT20030000271U |
申请日期 |
2003.04.16 |
| 申请人 |
COOL STRUCTURES PRODUCTION AND SALES GMBH;AB MIKROELEKTRONIK GMBH |
发明人 |
GRABNER HOLGER;MOERK-MOERKENSTEIN RUDOLF;WILCZEK KLAUS PETER |
| 分类号 |
C23C18/16;C25D1/00;F28F3/12;H01L23/473;H05K1/02;H05K1/03;H05K3/10;(IPC1-7):H01L21/48 |
主分类号 |
C23C18/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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